勉強記録10/26‐ リソグラフィ漬けの日

今日の勉強時間 10.5H(途中外出)
<内訳>
〇ビデオ講座(トライアルシリーズ) 1H

2085_言葉の本質に迫る
2084_請求項を作成できるようになるために
→不思議な日本語も勉強素材になりますね、

〇Varianシリーズ →今日はお休み

〇リソグラフィについて ニコン→キャノン→各社の明細書精読 9H
・2件とも請求項を書くのに挑戦してみましたが、
 1社は元々内容が掴みにくいところが多かったこともあり微妙な出来でしたが、
 もう1社は、赤線を引いていたところが大体請求項にマッチしていました。
 これが英語の明細書を読んだ時にもきちんと出来るか、はまだ怪しいです。

・理解を深めたくても勉強の元になる資料が見つからなかったので、
 関連する日本語明細書をさらに探して読むことにしました。→計5件
 これが素材としては一番ですね。
 深読みすると言うよりかは背景・課題・解決手段と、プロセス理解に注力して、
 その情報をXMindにまとめました。
 それぞれの明細書が情報を補完しあってくれるので、ようやく各部品の役割や工程の
 流れ(特に検出系や干渉計)がしっくりくるようになってきました。
 露光装置が露光するだけと思ったら大間違いでした。
 まだ理解に不安が残る事柄もありますが、今度こそ対訳取りをぼちぼち
 始めたいところです。
 状況によっては明日もVarianはお休みして、注力しようと思います。
 
・卒業生のnasaさんがおすすめして下さった半導体製造装置メーカーのKLA社ですが、
Youtubeで調べてみると色んな動画が出てきて勉強になりました^^

・ちなみに不思議な日本語シリーズ今日も「重ね合わせ精度を補償する」なんて言葉
 が。100歩譲って、悪い精度の場合に、精度を補償すると言う使い方はよいかも
 しれませんが、そうでなければ、精度を確保か精度を維持、とかですかね。
 補償なんてワードが出てきたら一瞬お金くれるんですか?って思ってしまい
 そうです。

明日やること
・リソグラフィの情報収集
・ビデオ講座の視聴(トライアルシリーズ)
・特許の頻出フレーズ収集

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