勉強記録10/24‐ 日本語に大興奮

今日の勉強時間 10.5H(午前中、迷走していたため少し少なめ)

<内訳>
〇Varianシリーズ 87-90  3H

〇リソグラフィについて ニコンの明細書精読 6H
・図面を印刷してノートに貼りながら、設備の理解
・図面から形が想像できないものは検索してノートに貼り付け
・理解できない技術用語の検索
・独特の言い回し、自分が使わなさそうな日本語のチェック
・状況を想像しながら読む
→想像できないところは周辺知識を調べながら読み進めるor自分で図で書いてみる
と言うことを繰り返す。

「フライアイレンズ」「ロッドインテグレータ」「両側テレセントリック」「チルト角」「法線方向」「定在波効果軽減」「溶解されて脱落する」「撥液化処理」「現像液と物理的に衝突」

など、知らないワード、不思議な日本語が出てくる出てくるで、一人で大興奮(笑)
前半にしっかり調べておくと、Trados作業と同じように後半読解スピードがアップしますね。「撥液化処理」等さらっと使ってみたいものです。

ちなみに今まで「アライメント精度」と「重ね合わせ精度」は同じものだと思っていたのですが、今更ながら違っていることに気づきました。
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アライメント精度」
=位置合わせ精度。露光領域の位置合わせのために、ウェハ裏面にあるアライメントマークと照射光の位置合わせをする際の精度のこと。
ウェハ表面から裏面の間には、様々なパターンが形成されており、ウェハ内に凹凸もあることから光を直射させることが難しく、調整が必要。

「重ね合わせ精度」
=オーバーレイ精度。複数回露光をする際に、転写するパターンが、
その前のパターンに合うよう位置合わせをすること。
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こんな感じで明日も引き続き別の日本語の明細書を読んでいきます。

〇圧電アクチュエータ資料読み 1H

〇リソグラフィ・エッチング印刷した資料読み 0.5H

明日やること
・リソグラフィ日本語明細書読む
・Varianシリーズ
・ビデオ講座の視聴(トライアルシリーズ)
・特許の頻出フレーズ収集

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