勉強記録10/25‐ マニアックな用語と戦う

今日の勉強時間 13H
<内訳>
〇ビデオ講座(トライアルシリーズ) 2.5H

0784_トライアルレビュー(D-4)
0785_トライアルレビュー(D-5)

〇Varianシリーズ 91-94 3H
→自分で訳して講座を見るという流れでやっており、
 管理人さんの訳には敵わないなーと思うことばかりでしたが、
 少しずつ管理人さんの訳とは違うけど、自分の訳でも大丈夫そうだな
 と言うことが出てきました。

〇リソグラフィについて ニコン→キャノンの明細書精読 6H
・近いうちに自力翻訳しようとターゲット設定しているASMLの明細書は、
 「露光装置のオーバーレイ精度向上」について、中でも「検出系」が
 メインの内容になっています。
・昨日読んでいたニコンの明細書は、実は重ね合わせせずに、分解能の限界まで
 微細加工する方法と言う正反対の内容でした。これはわざと選んでみたのですが、
 本番のジョブでは、事前調べの段階でこのような正反対の内容の明細書は
 選択しないでしょうね。今回は幅広く知識を付ける目的で選んでみました。
・今日からは、キャノンの明細書を読み始めました。
 ターゲット対策として選んだもので、ASMLの明細書と同じく、オーバーレイ
 精度向上且つ、検出系に関する内容のものです。今日はこの明細書の内容理解と
 周辺知識の検索に時間を掛けました。

ちなみに、リソグラフィの話はだいぶマニアックなになってくるので、
カメラ構造とリンクしない限りは、ネットで検索しても情報が出てこない!
なんてことがあります。ex:「プリアライメント計測」「ファインアライメント計測」

そんな時に役立つ方法は、

①用語をastamuseで検索する
用語で検索を掛けると、関連特許が出てきて、その中には辞書のように用語の定義が載ってあったりします。
とりあえず一気にたくさんの関連する明細書を読みたいと言うようなときは、
J-PlatPatやGoogle Patentよりastamuseがダントツで使いやすいですね。

②「半導体製造装置用語辞典」

ありきたりですが辞書です。
一般的なワードからマニアックなものまで載っています。また製造装置だけではなく、半導体関連用語ももちろん掲載されているので、半導体関連の特許翻訳を考えている方にも良いのではないかと思います。
ちなみに、この本は以前の職場の先輩の私物だったのですが、半強制的に頂いてきました。これから大活躍してくれそうです。

・明日は自力翻訳前の対訳取りに移ろうかと思ったのですが、検出系について
 ピックアップしてもう少し仕組みの理解をしようと思います。
 また、メイントピックとして出てきているわけではないのですが、
 レンズについての話がいまいちピンと来ないので調べてみようと思います。

〇対訳収集準備、校正スキーム準備 1.5H
・これまで正規表現を1つ1つ入力しながらやっていた作業を
 ついにマクロ化しました。
 特にTradosに組み込むための下準備は、かなりの時短に繋がったと思います。
 校正の方は、今できるところまではやりました。後は、自分で見直ししながら
 追加していきます。初めてネットのマクロもDLしました。いい感じです。

明日やること
・リソグラフィの情報収集
・Varianシリーズ
・ビデオ講座の視聴(トライアルシリーズ)
・特許の頻出フレーズ収集

勉強記録10/25‐ マニアックな用語と戦う」への2件のフィードバック

  1. nasa

    講座卒業生です(まだプロとは呼べませんが)。
    ご存知かもしれませんが、
    重ね合わせにご興味があるのなら
    KLA Tencor社のAcherという装置の特許を見てみてはどうでしょうか。
    これは、露光しパターンをつくったあとに
    重ね合わせ精度を検査する装置です。
    もし、重ね合わせがずれていたら
    露光装置にズレ量をフィードバックして
    位置ズレを補正します。
    あとついでに、KLAは寸法測定装置(CD-SEM)なども
    あるのでいろいろ楽しめると思います。

    余計なお世話だったらすみませんでした。

    半導体の現場より

    返信
    1. tanaka 投稿作成者

      nasa様
      コメント頂きありがとうございます。
      早速KLA Tencor社の特許をちらりと見てみました。
      今読んでいる、露光装置全体における補正装置といった観点からの明細書と違って
      重ね合わせのみに特化しており非常に興味深かったです。
      改めてゆっくり読んでみたいと思います。
      貴重な情報誠にありがとうございました。

      早くそちらの世界に行けるよう引き続き頑張ります!

      返信

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