機械的な基板?

今日の勉強時間・・・10時間(あと1時間はやります)
<内訳>
 MEMS加速度センサ対訳取り 6.5時間 約1500word
 岡野の化学         1.5時間 2~4
 購入した辞書の登録・ネットから拾い集めた用語集登録
 講座視聴(翻訳スキル系のものを少々)

加速度センサの明細書を読みながら、レジスト楽しかったなぁと
思い出すことが多かったので、化学の絡む半導体製造装置関係も
得意分野にすることを考えてもよいかもしれないと思い始めました。
とりあえず対訳は今溜まっているMEMS関係に集中しながら、
化学の勉強も毎日少しづつ継続することにします。

●今日気になった箇所-加速度センサ
【US20090031809A1】
Substrate 64 may be a semiconductor wafer comprising silicon, although any mechanically supporting substrate may be utilized.
公開訳:基板64は、シリコンを含む半導体ウェハであっても良いが、任意の機械的な支持基板を用いても良い。
★mechanically supporting substrateとは
①ガラス基板や化合物基板のことを言いたい?
→よくある組み合わせだけど、mechanicallyに違和感があるので違う?
②組み合わせ検索して出てきた論文から・・・「機械的な強度を補う支持基板」
→意訳しすぎな感じがする
③「機械的に支持された基板」
→なんとなくしっくりはくる。
SOIとか層が積み重なって固定されている基板のことかな

明日また新鮮な頭で考えてみよう。

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