勉強記録11/4‐ 掘れば掘るほど出てくる出てくる

今日の勉強時間 12H
<内訳>
〇EUV用マスクの検査装置 論文翻訳完了+見直し+ノート作成他 5H

EUV露光やマスクだけでなく、顕微鏡についての知識も増えました。

・SEMの話

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SEM=走査型電子顕微鏡:
電子線を試料に照射して、試料から放出される二次電子から形成される像を利用して
対象を観察できる顕微鏡。
凸部であれば、電子の検出器に近いところで二次電子が放出されるので、
強い信号になる、凹部であれば、弱い信号になると言ったかんじ。

マスク検査にもSEMを使用する例がでてきました。

論文内には、試料の導電性がどうのこうの、と言う内容が多かったのですが、
以下に検査と試料の導電性の繋がりについて簡単にまとめてみます。
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SEM(走査型電子顕微鏡)で観察する試料には導電性が必要である

試料に照射された電子線は、最終的に外に流れ出る

外に流れないと、照射された電子が表面に溜まってしまう(=チャージアップ)

試料がマイナスに帯電し、後から照射される電子線を曲げたり跳ね返したりする

像がゆがんでしまう

試料に導電性があれば、外に流れる道が出来るので、チャージアップを防止できる
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・スパッタリングの話

ちなみに、導電性の無い試料には事前に金属の薄い膜を付けておくと言う方法があるようです。金属に薄膜を付ける方法には、半導体の製造工程でも出てきますが、
代表的なものには、スパッタ蒸着があります。

私の知っている知識では、「スパッタリングは接着性が強い」と言うことだったので、
今回はそこまで接着性は求められていないはず(しかもスパッタは高い)なので、
今回のケースでは、蒸着の方ではないのかな、と思ったのですが、なんと逆の
スパッタリングの方が都合が良いとのことでした。
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蒸着は炉を真空にすることで金属イオンがまっすぐに飛ぶ

マスクの凹凸で生じた影の部分に金属が張り付かなくなってしまう

なので、金属イオンが色んな方向に動くスパッタリングの方が良い
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とのことでした。

〇EUVリソグラフィ関係の明細書の対訳収集スタート
半導体製造装置→リソグラフィを得意分野だと自信を持って言えるように、
露光装置の明細書にまた立ち向かおうと思います。
英語も日本語も多少おかしいのは気にせずというか、自分である程度直しながら、
対訳を取っていきます。
以前取り組んだアライメント関係ではなく、多少慣れてきたEUV関係の
明細書を選びました。
出てくる構成部品が多すぎて、かなりとっつきにくかった露光装置ですが、
少しずつ分かるようになってきた気がします。

あるサイトで、リソグラフィ・光学関係の用語集がかなりの量まとまっているものがあり、加工の方もexcel秀丸を何回か繰り返せばいけそうだったので、さっそく組み込みました。
(ごめんなさい、どこのサイトか忘れてしまったので、見つけたらまた展開します…)

〇Varianシリーズ 1.5H 109‐110


〇ビデオ講座視聴 1H

1230_原文ミスの捌き方
1298_depositは蒸着か堆積か付着か
1659_言葉の海で遊ぶ方法
1240_勉強を加速するゴールデンルール
1621_マインドマップ作成(実践編)

明日やること
・リソグラフィ明細書
・Varianシリーズ
・ビデオ講座視聴

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