勉強記録11/3‐ 3か月の壁を越えて

ようやく隣の芝生は青く見える症候群から抜け出しました。
ここ数日はなんか気分が落ち込んでしまっていましたが、復活です!
ガンガン勉強するのみ!
また悩んだ時ように螺旋階段の写真でもホワイトボードに貼っておきます。

今日の勉強時間 10.5H+物理の散歩道など読書@移動中

<内訳>
〇EUV用マスクの検査装置について 1300word 6.5H

大分理解が進んだので、今日は昨日までよりスピードが上がり、
明日には終わりそうです。

色々と調べる中でEUV用マスク検査装置が何故そんなに取り上げられるのか
ようやくわかってきました。(いまさら)
一部以下にメモも兼ねてまとめてみます。
(※EUVとは半導体のパターン微細化のために使用される新たな光源のことです。)

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EUVは物質を透過しやすいX線の一種であるため、
光学系にはレンズではなく反射板を利用する。

反射光学系のマスク基板は、W/Moの繰り返し積層構造である。

積層である理由は、EUV光が吸収されやすく、なかなか反射されないからである。

この積層膜に欠陥が含まれるとパターンが歪んでしまうため、
無欠陥にする必要があるが、積層枚数は30‐40枚ほどになるため、従来の
光リソグラフィ用のマスク(クロムと石英の2層構造)より、欠陥の発生率が高くなってしまう。

よって、EUVマスク用の検査装置が重要。
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従来のマスクの知識しかもっていないと、マスクなのに30層40層という表現が
出てくるので一瞬あれ?となります。

〇Varianシリーズ 2.5H 106-108
ガスクロの明細書内で、
“ボア・サイズの差によってライン内部の流れや圧力が制御される”との内容が
出てきて、いまいちピンと来なかったので、調べてみたところ
流体力学の「ベルヌーイの定理」と関連があることが分かりました。
ベルヌーイの定理とは簡単に言うと『流体の速度が増加すると圧力が下がること』

。。。と聞いても理解できなくて、自分としては
速度が増加すると圧力も増加するんじゃ?と考えていました。
ここは押さえておこうと、さらに調べたところ、面白い例を挙げているサイトに当たりました。
https://www.library.osaka-u.ac.jp/doc/TA_20150525_fluid.pdf
こちらのサイトで例として紹介されているように
2枚の紙をもってその間に息を吹きかけてみました(=紙の間の速度が上がる)

すると、2枚の紙が引きつくんですね。

圧力が下がると物が引きつくので、2枚の紙が引きつくということは、
圧力が下がっている証拠です。

つまりは、速度が上がって圧力が下がっている=定理通り!

ちなみにこれは、
電車が速いスピードで通り過ぎると自分の体も引き付けられる現象
と同じです。

これらを踏まえると、
ボアサイズの差によって流れや圧力が制御されると言う文章も納得がいきます。

…どこかでこの知識が役立ちますように…!

明日やること
・検査装置明細書完了→見直し
・露光装置明細書の対訳
・Varianシリーズ
・その他ビデオ講座視聴

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