勉強記録10/30‐ 求めていたもの

今日の勉強時間 12H
<内訳>
〇ビデオ講座 2.5H

2093_学会情報の活用術
2094_異世界と出会う場所
0074 翻訳に役立つ海外の論文集
0655_学会情報・企業情報の活用術
1538_学会情報活用術

学会についてはある程度目星はつけていましたが、また関心が増えているので再検討。
11月中にはどこかに入ろう。

リソグラフィ→EUV用マスクの検査装置について  7H

・論文翻訳にトライ
先のビデオ講座を見て、試しにJ. ElectrochemとSPIE(国際光工学会)とで
リソグラフィについて検してみたところ、J.Electrochemの方ではレジスト絡みで
3件ほど公開されており、DLして少し読みました。
SPIEでは、Journal of microlithographyの論文が幾つかヒットし、公開されている
ものもあったので、4つほどDL。
それぞれ読んでみてここに求めていた英語が書かれている!!と英語に感動しました。

今自分の持っている知識で読めそうだったのが
「EUV用マスクの検査装置」=走査型電子顕微鏡(SEM)を使った欠陥検査について。
東芝等のエンジニアの方が書かれているものです。メモリ関係の方ですね。
論文の日本語版はないようでしたが、著者の一人の方が書かれた関連する日本語の
論文が見つかったので、参考にしつつTradosに組み込んで訳してみることにしました。

本当に英語の違和感がないです。時々この使われ方はありなのかな、と思う時に
調べますが大抵使われています。使用実績が少なかったとしても単語の持つイメージ
から当てたのだろうな、と翻訳者の意図が想像出来ます。
これは大いに盗むしかないですね。
リソグラフィ(特にEUVの)やレジストの話も出てくるので使えそうです。

・お手本となりそうな明細書を発見
上記の論文を読んでいる際、自分だったらやや意訳してこの日本語を当てるなと
思った時に同じように訳している明細書がないか探してみたところ、少なかったですが
見つかりました。
日系メーカの明細書と米国出願のものを軽く読んでみましたが、どちらも分かりやすく
癖のない文章になっているように感じました。
これも半導体の検査装置関連だったのですが、お手本として、今後対訳を取ってみよう
と思います。

良質な文章のおかげか今日は時間が過ぎるのを早く感じました。

・走査型電子顕微鏡(SEM)、EUV等について資料収集
EUVについての知らない知識はMindmapや知子にまとめ。
SEMについてはとりあえずガンガン印刷→読む。

〇Varianシリーズ 1.5H
〇物理の散歩道読書 0.5H


明日やること

・リソグラフィ明細書の分析
・Varianシリーズ
・ビデオ講座の視聴(トライアルシリーズ)

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